AW Serisi wafer denetim sistemi, 5 mikrondan daha iyi hassasiyet ve rakiplerine kıyasla 2 kata kadar daha yüksek throughput sunar. Waterfall non-immersion transdüserleri sayesinde DI su kaynaklı hatalı sonuçları ortadan kaldırarak güvenilir ve doğru denetim sağlar.

AW Serisi otomatik wafer denetim sistemi, kullanıcı tanımlı kabul/red kriterlerine göre wafer’ları işler, inceler ve sınıflandırır. BSI sensörleri, SOI, MEMS, LED’ler, Chip-on-Wafer ve cilasız wafer gibi ürünleri destekler ve füzyon, anodic, cam frit, epoksi bağlama yöntemleriyle uyumludur.