AMI SpinSAM
✓ 300 mm wafer denetiminde sektör lideri verimlilik
✓ Sınıfının en iyi footprint ve UPH verimliliği
✓ Üstün hata yakalama doğruluğu ve yüksek görüntü kalitesi
✓ Kolay servis için modüler sistem tasarımı
✓ Fabrika entegrasyonu ile tam otomatik denetim ve analiz
| Özellik | AMI SpinSAM |
|---|---|
| 200 µm Piksel Aralığı | Saatte 95 Wafer (WPH) |
| 100 µm Piksel Aralığı | Saatte 41 Wafer (WPH) |
| 50 µm Piksel Aralığı | Saatte 12 Wafer (WPH) |
| 25 µm Piksel Aralığı | Saatte 3 Wafer (WPH) |
| Özellik | AMI SpinSAM |
|---|---|
| H050/050 | 12,7 mm Odak Uzunluğu, F2, 50 MHz |
| H115/050 | 12,7 mm Odak Uzunluğu, F2, 115 MHz |
| H230/025 | 6,4 mm Odak Uzunluğu, F4, 230 MHz |
| H230/0375 | 9,5 mm Odak Uzunluğu, F2, 230 MHz |
| Özelleştirilmiş transdüserler | Özel uygulamalar için talep üzerine temin edilebilir |
| Özellik | AMI SpinSAM |
|---|---|
| Warpage (Eğilme) | ±1,5 mm wafer eğilmesini (warpage) yönetebilen dahili işleme ile net ve odaklı görüntüler oluşturur |
| OCR Wafer Okuyucu | Lazerle kazınmış wafer ID’yi okur ve raporlar |
| 200 mm | Sistem 200 mm wafer işleyecek şekilde yapılandırılmıştır |
| Özellik | AMI SpinSAM |
|---|---|
| Yerleşim Alanı | 2750 G × 2230 D × 2240 Y mm |
| Sistem Ağırlığı | "Tarayıcı 1700 kg (3747 lbs), EFEM 900 kg (1984 lbs), Toplam ağırlık 2900 kg (6363 lbs) |
| Güç Kaynağı | 200–240 VAC, 50/60 Hz, 100 A, Üç Faz, 4 veya 5 telli |
| Tipik Güç Tüketimi | Tam Yük Akımı: 50 A |
| Hava Beslemesi | CDA 0,62–0,90 MPa, Tepe 900 L/dk @ 1000 kPa |
| CDA Tipik | 900 L/dk @ 650 kPa |
| DI Su | Sıcaklık: 10–50 °C / Minimum özgül direnç: 5 MΩ·cm / Basınç: 0–0,50 MPa / Debi: 6 L/dk |
| DI Su Tipik | Tek kullanımlık: 4 L/dk; Sirkülasyonlu: 1 L/saat |
| Proses Soğutma Suyu | Sıcaklık: 2–18 °C / Basınç: 0,10–0,50 MPa / Debi: 2–8 L/dk |
| PCW Tipik | 4 L/dk – yalnızca sirkülasyonlu |
| Sirkülasyonlu Su | Hat içi su arıtma ve filtrasyon sistemi kullanılarak tek kullanımlık sudan sirkülasyonlu suya geçilir; su tüketimi azaltılır ve kritik sıcaklıklar korunur |
| Çalışma Ortamı | 15–30 °C, Nem < (yoğuşmasız) |
| İşletim Sistemi | Windows 11 64-bit |
| Standart Warpage İşleme | ±1 mm |
| Tipik PCW | 4 L/dk – yalnızca sirkülasyonlu |
AMI SpinSAM ürününü daha yakından tanımak için hazırlanan bu tanıtım videosu, ürünün genel çalışma prensibini ve kullanım senaryolarını özetler.
English 
Türkçe